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真空閥門(mén)在真空系統中的作用

[ 2013-07-09 ]

1.真空閥門(mén)開(kāi)關(guān)氣路,如圖13-1所示,當閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開(kāi)時(shí),機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經(jīng)預真空抽氣管路;當閥2關(guān)閉,閥4打開(kāi)時(shí),機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當閥1和閥4同時(shí)打開(kāi)時(shí),擴散泵和機械泵可同時(shí)工作,對容器進(jìn)行抽空,此時(shí)氣流流經(jīng)擴散泵??梢?jiàn),閥門(mén)在這種操作中的作用是開(kāi)關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線(xiàn)。

2.控制氣流大小,調節真空度。在圖13-1中,調節閥1的閥蓋開(kāi)啟角度,即可調節流經(jīng)管路的氣流量大小;關(guān)閉閥2和閥4,通過(guò)放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過(guò)放氣閥5可以調節容器內的真空度。

3.定量充氣,如圖13-2所示,在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞,當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時(shí),小洞中就可充滿(mǎn)高壓氣體;當它轉向左邊和真空容器連通時(shí),就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。

真空系統示意圖

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